Sensore di flusso SMC, per Aria, Gas, Liquidi, Olio, flusso 5 L/min → 40 L/min

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Codice RS:
612-527
Codice costruttore:
PF2W540-F06N-2
Costruttore:
SMC
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Marchio

SMC

Fluido monitorato

Aria, Gas, Liquidi, Olio

Tipo di dispositivo

Interruttore di flusso

Flusso minimo

5 L/min

Flusso massimo

40 L/min

Serie

PF2W

Paese di origine:
JP
L'interruttore di flusso digitale SMC consente l'impostazione precisa della portata e il monitoraggio con un display digitale. Riduce lo spazio di installazione del 76%, il che lo rende estremamente compatto. Le applicazioni comuni includono il controllo del flusso di gas N2 per evitare lo scintillio della telecamera di rilevamento e l'ossidazione del telaio del conduttore, nonché il controllo del flusso dell'acqua di raffreddamento per la regolazione della temperatura della wafer e l'alimentazione ad alta frequenza.

Funzione di blocco tasti
Funzione di commutazione dell'unità
Valore di picco e valore di mantenimento più basso
4 gamme di portata indipendenti possono essere monitorate da un singolo controller

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