Gli oscillatori MEMS (sistema microelettromeccanico) possono anche essere noti come oscillatori al silicio. Il MEMS combina un basso consumo energetico con una frequenza accurata, offre un ingombro ridotto per oscillatori standard. I MEMS offrono oscillatori sia a kHz che a MHz che combinano una temperatura più ampia e una stabilità più stretta rispetto agli oscillatori convenzionali.
Questi dispositivi offrono un'ottima resilienza contro vibrazioni e urti e offrono un'elevata affidabilità rispetto alle variazioni di temperatura. Gli oscillatori MEMS sono anche meno sensibili alle interferenze elettromagnetiche (EMI), che è comune nella maggior parte dei sistemi. I MEMS sono dispositivi programmati in modo da offrire una gamma molto ampia di frequenze
I dispositivi MEMS sono costituiti da elementi meccanici come attuatori, sensori e dispositivi elettronici su un substrato di silicio