Gli oscillatori MEMS (sistema microelettromeccanico) possono anche essere noti come oscillatori al silicio. Il MEMS combina un basso consumo energetico con una frequenza accurata, offre un ingombro ridotto per oscillatori standard. I MEMS offrono oscillatori sia a kHz che a MHz che combinano una temperatura più ampia e una stabilità più stretta rispetto agli oscillatori convenzionali.
Questi dispositivi offrono un'ottima resilienza contro vibrazioni e urti e offrono un'elevata affidabilità rispetto alle variazioni di temperatura. Gli oscillatori MEMS sono anche meno sensibili alle interferenze elettromagnetiche (EMI), che è comune nella maggior parte dei sistemi. I MEMS sono dispositivi programmati in modo da offrire una gamma molto ampia di frequenze
I dispositivi MEMS sono costituiti da elementi meccanici come attuatori, sensori e dispositivi elettronici su un substrato di silicio
Vantaggi dei MEMS
Consumo energetico molto basso
Dimensioni molto piccole
Facile da integrare nei sistemi
Resistente agli urti da vibrazioni e alle radiazioni
Basso costo
Applicazioni
Applicazioni di consumo - elettrodomestici, dispositivi per la formazione sportiva, periferiche per computer
Industria automobilistica - Airbag, Sistemi di sicurezza del veicolo, serrature delle porte, luci di stop interne, rilevamento del ribaltamento
Militare - carri armati, Attrezzature per soldati, Piani
Industriale - Rilevamento di terremoti, Condizioni della macchina, rilevamento urti e inclinazione